SF6氣體純度分析儀(英文：SF6 gas purity analyzer )主要用于測量SF6與空氣、SF6與N2混合氣體的SF6氣體純度（百分含量），檢查SF6設備（電纜，開關）中的SF6氣體純度（百分含量），也能用于存在有幾種背景氣體的應用中（需特別提出要求）。該儀器采用目前世界上的帶溫度補償的微型熱導池探測組件，可快速準確地測出SF6純度，正常情況下其壽命可達十年。
SF6氣體的主要用途
SF6氣體以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應用于電器工業，如：斷路器、高壓開關、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。SF6還因其化學惰性、無毒 、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空 航天、醫療（X光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（汽車輪胎、新型滅火器）等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。隨著當今科技的發展，SF6涉及的領域不斷擴展，被越來越多的基礎領域和科技領域廣泛應用。
SF6 惰性非燃燒氣體。無色、無味、無臭、無毒。密度6.602。熔點-50.5℃。升華溫度-63.8℃。500℃以上時熱穩定性仍很好。有很高的介電強度和滅弧性能及導電性。化學性質穩定。微溶于水、醇及醚，可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學的反應。300℃以下干燥環境中與銅、銀、鐵、鋁不反應。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應，-64℃時在液氨中反應。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。在高壓開關中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料；也可用于粒子加速器及避雷器中；利用其化學穩定性好和對設備不腐蝕等特點，在工業中可用作制冷劑；由于對α粒子有高度的停止能力，還用于放射化學；還作為一種反吸附從礦井煤塵中置換氧。
